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操作要求 4.1.1分子泵的气路接口的快接法兰的螺杆应朝上,以防松弛造成漏气; 4.1.2不能在大气状态下开分子泵,必须在达到10Pa时才能打开其相应的高阀,开启分子 泵; 4.1.3当M2(箱体2)或M7的真空度始终抽不到位时,应检查旋片泵的电磁阀工作是否 正常; 4.1.4在开分子泵前必须打开冷却水阀;在分子泵的叶轮停止运转后,必须关闭冷却水阀; 4.1.5每次停机后,务必清洁各分子泵的进气口处,使其保持干净,以避免不必要的损坏; 4.1.6当出现报警信息“EF”时,应检查冷却水路是否通畅,可用气枪检查。确保水路顺 畅后,方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵,待后处理; 4.1.7在分子泵出现问题而不能使用时,应暂停生产,手动充大气后,更换备用的分子泵; 4.1.8当始终达不到分子泵启动条件时,应检查前级泵和电磁阀工作是否正常; 4.1.9当分子泵出现故障时,须根据故障提示作相应处理。